METPOINT® PRM

Möchten Sie Differenz- oder Systemdrücke zuverlässig messen? Die Drucksensoren der Baureihen SP11, SP21 und SP22 bieten eine präzise Überwachung von Systemdrücken. Die erfassten Messwerte bilden eine solide Grundlage für die Wartung und Optimierung von Produktionsanlagen. Darüber hinaus ermöglichen die genauen Druckzuordnungen faktenbasierte, betriebswirtschaftliche Entscheidungen. Dank vielfältiger Schnittstellen lassen sich die Sensoren nahtlos in bestehende Prozessleitsysteme integrieren.

Hochpräzise Sensortechnologie im METPOINT PRM

Im METPOINT PRM werden Sensoren mit Dünnfilm-Technologie verwendet. Der Grundkörper und die Membran eines Metall-Dünnfilmsensors bestehen aus dem Edelstahl-Werkstoff 1.4548. Auf der dem Medium abgewandten Seite der Membran werden Isolierschichten, Dehnungsmessstreifen (DMS), Kompensationswiderstände und Leiterbahnen durch eine Kombination aus chemischen und physikalischen Verfahren aufgebracht und anschließend fotolithografisch durch Ätzen strukturiert. Die Schichten der Widerstände und elektrischen Leiterbahnen auf dem Sensor sind deutlich kleiner als ein Mikrometer und werden daher als Dünnfilmwiderstände bezeichnet.